凭借稳定的产品质量,成为AODD泵领域备受推崇的全球领导者。
阿迈得®泵具备远超于行业基本要求的产品特性与优势,兼顾客户要求的标准。
Almatec提供广泛的产品组合,为您的所有关键应用提供复杂而经济的解决方案。
我们的产品专家团队期待您的来信。
凭借在半导体行业数十年的经验和创新,阿迈得AODD泵成为这些关键应用完美的泵解决方案。阿迈得旨在满足半导体生产商在可靠性、一致性、高效率、耐久性和安全性方面的需求,阿迈得AODD泵运用于半导体制造过程各个阶段,在最重要和最关键的应用中表现优异。
随着化学品行业要求不断提高,越来越多的化学品通过油罐车输送。阿迈得®Futur系列气动隔膜泵提供了一种理想解决方案,将这些化学品在与加工工具相同的纯度要求下安全快速地从卡车转移到储罐内。同样的系统也适用于其它转移操作,以保证化学品的高纯度。
对于这些应用,阿迈得FUTUR泵50和100系列极为适合。
阿迈得FUTUR系列
可靠的化学品供应是芯片生产的基础。阿迈得®泵非常适合处理现代芯片生产所需的化学品。
经过特殊设计零金属的FUTUR系列泵,用于输送要求最为严苛的介质,无需切割、无颗粒污染。通常柜内常额外配备FUTUR泵以确保高纯度化学品供应。
在高纯度化学品应用上,阿迈得E系列是最佳排水泵。
阿迈得E系列
阿迈得®还为特殊应用提供解决方案,如溶剂供应。谈及溶剂时,防爆保护是重中之重。半导体生产过程中,通过将带有光刻胶的晶圆浸泡在有机溶剂中将晶圆表面的光刻胶去除。在发生事故时,导电 E 系列泵非常适用作排水泵。
FUTUR S系列导电泵采用高质量不锈钢材质,提供最佳的防火花保护。在处理一些腐蚀性介质时,也可以在爆炸性区域使用塑料材质的 FUTUR 系列泵。
在发生事故时,导电型E系列可用作排水泵使用。
在生产芯片过程中会产生有毒气体和废气,因此必须在洁净室上方进行废气中和。
废气处理采用废气洗涤器,清洗废气后会产生污水。阿迈得®泵非常适合处理这种类型的废水。
此外,阿迈得®泵还为废气洗涤器提供必要的洗涤剂,例如石灰乳。
在废水处理阶段,生产中使用的化学品在使用后都要经过处理,以使它们可以排放到当地的废水网络中。因此,必须从液体流中分离出所有有害物质,并对废水进行中和处理。
一些使用过的化学品在被进一步处理排放前,需先在循环系统中通过换热器冷却。面对160°C(320°F)的高温要求,FUTUR系列泵凭借其优异的耐热性非常适用。
对于温度较低的后续工艺步骤,如末端装卸和供应泵,可以使用E系列。
废水处理过程涉及到经常使用压滤机去除粘附的污染物和固体颗粒。
由于这些应用需要更高的压力,建议使用阿迈得®AHD或AHS系列泵,这些泵可在15bar(218 psi)输送压力下运行。其结构精简紧凑,维护少,有助于确保可靠的使用。
阿迈得AHD和AHS系列
在芯片生产过程中会有有害废气产生,因此必须净化废气中的有害物质。
废气处理采用废气洗涤器,在清洗废气后会产生污水。阿迈得®泵非常适用于处理这类废水。
此外,阿迈得®泵还为废气洗涤器提供必要的清洁剂,如石灰乳。
行业专家eMAXX GmbH如何通过推荐使用阿迈得 FUTUR和E系列AODD泵来帮助优化客户在这个关键市场的性能。
下载案例研究
阿迈得推荐两种AODD泵型号用于关键和敏感的半导体生产应用。
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